箱式高溫爐采用集成化模塊控制單元,控制度,并設計了雙回路控制和雙回路保護,具備了過沖、超調、欠調、段偶、缺相、超壓、超流、超溫、電流反饋、軟啟動等保護。
箱式高溫爐的使用注意事項:
1、除了做實驗外,不要停留在高溫爐管區。
2、實驗工作完畢時,若無人繼續使用,請關特殊氣體,保留N2流動,高溫爐管保持在standby溫度,并查看是否有其它電源該關而沒有關,如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它,請隨手關掉。
3、處理HF時,請戴手套,如不小心碰到HF時,立刻沖水,用葡萄酸鈣加2%之水,揉擦傷處15'。
4、石英玻璃制品請小心使用,以免破裂,引起嚴重割傷。
5、避免吸入從高溫爐或處理槽所冒出之各種氣體。
6、旦發現在高溫爐周圍有妨礙安全之事物時,要通知有關人員(技術員等)。
7、請節約純水用量。破晶片、濾紙、棉花棒……等,請勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板漬水。
8、長短推桿之前端,在還沒使用到時,請朝上以免污染。
9、晶片進出爐口時,承接boat的holder,請勿碰觸爐管口,以免污染爐管。
用于熱等靜壓機的高溫爐,雖然也起燒結作用,但它不同于般真空或保護氣氛燒結爐,它更巧和高效。高溫爐在工作時是受高壓壓力介質所包圍,若要使高溫爐體高效的正常運轉,需要解決以下兩個關鍵問題。
(1)高溫爐構造必須能防止爐內外高密度壓力介質的有害對流,并爐溫均勻。
(2)般情況下,爐內需要有1000℃以上的高溫,而爐外溫度只允許在100℃~200℃左右。這就要求在幾十毫米厚的隔熱層內,能使溫度下降千多度。